ThinFilm View 光學薄膜設計軟件

ThinFilm View 光學薄膜設計軟體，直覺式操作，容易上手。即時運算系統，立即顯示運算結果。實用於生產管理與教育訓練之薄膜設計軟體。

新類型最適化方法

Freehand mode!

實時計算

即時運算系統，立即顯示運算結果。以滑鼠控制滑動尺、上下鍵，可快速變更膜厚、折射率。膜厚亦可用鍵盤來做變更(箭頭鍵，PgUp，PgDn鍵)。

圖紙格式編輯屏幕

多張標籤工作表，最多可同時設計20個膜資料。每張紙的計算結果疊加在波長圖和入射角圖上。

多窗口

可以同時顯示圖形和數值，例如波長特性，入射角特性，顏色計算和光學沉積監視器。

多種語言

您可以在英語，日語和繁體中文之間切換。

高分辨率顯示兼容

即使是具有高分辨率顯示的字符也不會模糊。 根據Windows縮放設置縮放字符。您還可以設置字體和字體大小。

功能

基本操作

以滑鼠控制滑動尺、上下鍵，可快速變更膜厚、折射率。就能同時顯示多種曲線圖，從各種視點進行薄膜設計。多張標籤工作表，最多可同時設計20個膜資料。

波長、入射角的3D圖表顯示

等高線顯示。回轉、zoom可以。

光學式蒸鍍監控

通常監控的膜厚和製品基板的膜厚會不同，且設計上的折射率(大氣中)和成膜中(真空中)的折射率也不一樣。而TFV軟體則能考慮上述問題進行模擬。

電場強度分布

可選擇欲顯示的偏振光種類。

根據選擇「反面」，由表面側的入射光與反面測的入射光電場強度將可同時顯示。

顏色計算

顯示所有工作表的計算結果，因此能夠計算各膜資料之間的色差。

表色系統

XYZxy, CIE L*a*b*, L*C*h, Hunter Lab, L*u*v*, UCS, Whiteness Index, Yellowness Index, sRGB, CIE2000, Dominant Wavelength。

對應的光源種類

A, B, C, D50, D55, D65, D75, E, F1, F2, F3, F4, F5, F6, F7, F8, F9, F10, F11, F12, ID50, ID65。您也可以將自己的光源數據註冊為csv文件。

製造誤差解析

某層的膜厚、折射率、吸收係數的誤差，於調查會對光學特性會造成多少程度影響時及調查設計值與實際成形薄膜的光學特性的乖離發生在哪一層時(Mismatch解析)、及依據Monte Carlo simulation調查製造變異時(製造誤差解析)使用。

波長曲線圖Monte Carlo simulation

顏色計算Monte Carlo simulation：您可以為每個圖層指定每個薄膜厚度，折射率和吸收係數的變化量。變化量可以從絕對值的均勻分佈，％的均勻分佈和正常(Gaussian)分佈(σ)中選擇。這個軟件是用 Mersenne Twister 隨機數發生器。

反面測的特性

可以同時觀察有吸收的膜的表面側、反面側的特性來做設計。

Stack(兩面的合計特性)

平行邊面基板的兩面(又或單面)附著於膜時的合計特性。

不均勻

不均勻(折射率斜面)設定。將游標放置在不均質的欄位上，將會跳出不均勻數據資料。

周期層

可設定週期層內的膜厚倍率。

設計最適化

設計最適化 - 標準MODE -

由Local search、Global search、Needle search三種最適化手法中選取實行最適化。 Local search
使用Levenberg-Marquardt法，藉著邊變更膜厚邊找尋最適當解析。

Global search
Simulated Annealing Method法與Levenberg-Marquardt法組合的手法，在local search的途中，將膜厚隨意變更､避免陷入非本來解的局部解結果。

Needle search
插入針狀的薄層，讓多層膜成長，藉此搜尋解。
Needle層的插入→local search→needle層的插入→local search的反覆循環。

計算基板及薄膜nk的功能

由分光光度計測量的光譜反射率和光譜透射率計算出基板或薄膜的nk。

· 計算無吸收的基板的折射率(n) 計算沒有膜的基板的折射率。 在基板上無吸收時使用。 需要是單面mat基板或雙面研磨基板。 · 計算具有吸收作用的基板的折射率(n)，吸收係數(k)和內部透射率(Ti) 在基板上有吸收時使用。 需要是單面mat基板或雙面研磨基板。 · 單層膜的nk分析 從光譜反射率和光譜透射率，通過對色散公式進行曲線擬合來分析膜的n，k和膜厚度(d)。 添加了僅分析正常色散(折射率隨波長變短而增加色散)的選項。 · 單層金屬薄膜的nk計算 由正面反射率和背面反射率算出金屬膜的nk。 膜必須足夠厚且透射率為零。

分光光度計測定資料

讀寫分光光度計測定資料夾，將可顯示於坡長曲線圖。 既可將使用分光光度計分光光度計測定的資料與設計值放於同一曲線圖做比較。測定值為相對值時，可變換為絕對值。

對應的檔案形式

Hitachi UV1 files and UV-Solutions files(*.UDS, *.UDA), Shimadzu SPC files, Olympus-USPM files(*.dat, *.csv), Jasco JWS files, Ocean-Optics OOi-Base32 files, csv files, tab separated text files.

色散資料

基板data:

1381基板data為事先預設。SCHOTT, OHARA, HOYA, SUMITA, HIKARI, CDGM(成都光明), APEL, ZEONEX, PMMA, Polycarbonate, etc. 您也可以註冊自己的數據。

膜物質data:

下記膜物質data為事先預設。 Ag, Al2O3, AL, Au, Cr, Cu, H2, H4, LaF3, M3, M3-RT, MgF2, Nb2O5, Nb2O5-RT, OH5, OH5-RT, OS50, OS50-RT, SiO2, Ta2O5, Ta2O5-RT, Ti, TiO2, Zn, ZnS, ZrO2, Cytop, Al2O3(KTM), HfO2(KTM), LaF3(KTM), Ti3O5(KTM), ZrO2(KTM), ZRT2(KTM),KTM: Kyoto Thin-Film Materials Institute 您也可以註冊自己的數據。

薄膜計算工具

附有簡易計算關於薄膜的「薄膜計算工具」。